职位详情 岗位职责： 1、 负责微纳半导体器件制备薄膜沉积工艺的开发，包括物理气相沉积（PVD），如磁控溅射、真空蒸镀、离子束沉积，或化学气相沉积（CVD），如PECVD、LPCVD、 ALD； 2、 负责微纳半导体器件制备热处理工艺的开发，包括快速退火工艺（RTP）、管式炉热处理工艺； 3、 负责实验设计、执行，并对工艺、结构进行微观结构、电学、光学及其他方面的表征，包括膜厚、应力、导电率、折射率、透光率等； 4、负责实验数据采集、分析，对工艺进行持续的优化、监控以及维护； 5、 负责制定工艺方法、操作流程和规范，建立作业指导书与技术文件，指导和培养技术人员，撰写培训资料，培训现场操作人员并进行效果评估； 6、 主导工艺在线异常根本原因分析，提出改进计划，主导改进计划的执行、导入、跟进； 7、 负责新设备、新工艺、新物料的调研、评估、论证、导入、验证等； 8、 负责制定不同项目的工艺研发计划，长期研发规划，及时与项目组对齐，保证项目研发进度； 9、 负责微纳器件制备技术行业需求调研、文献综述分析等，总结当前状态，存在问题，提出创新性，可行性解决方案，并主导、跟进方案的实施； 化学工程,能源化学工程,材料科学与工程,化学类